很多人在购买工业炉和干燥设备时都很关心热电偶退火炉结构原理,退火炉的工作原理有哪些?的问题,毕竟多数为定制产品,所以了解的越多,就越容易定制符合自己企业生产需要的设备,下面小编就针对热电偶退火炉结构原理,退火炉的工作原理有哪些?这一问题整理了些答案,供大家参考:
热电偶将炉温转变成电压信号后,加在微电脑温度控制调节仪上。调节仪将此信号与程控设定相比较,输出一个可调信号。再用可调信号控制触发器,再有触发器触发调压器,达到调节电炉电压和电炉温度的目的。
快速退火炉是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃,从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷,改善产品性能。
快速退火炉采用先进的微电脑控制系统,采用PID闭环控制温度,可以达到极高的控温精度和温度均匀性,并且可配置真空腔体,也可根据用户工艺需求配置多路气体。
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